真空镀膜前清洗总出虚焊、针孔?20余年经验厂家,用非标大型机把良率拉回来
在真空镀膜车间里,有一类问题最让生产经理头疼——良率始终卡在一个瓶颈,上不去也下不来。一批工件进炉,镀膜完成后一检测,虚焊、针孔、起皮、沙眼……表面看是涂层本身的问题,可镀膜室的真空度、靶材纯度、气体流量一项项排查下来,都没毛病。反复调整工艺参数,良率依然在低水平线上起伏。 然而,问题的根源可能根本不在镀膜室内部。PVD(物理气相沉积)镀膜的质量,七分靠基底,三分靠镀膜。基底表面的清洁度,才是决定涂层成败的“地基”。而这个地基打得好不好,关键就看真空镀膜前的清洗环节有没有做到位。 污物不除,镀层不牢:虚焊与针孔的“幕后推手” 真空镀膜是在高真空环境下将靶材原子气化后沉积到工件表面,形成微米甚至…